SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射校準標準

SRM Number（貨號）：SRM 2000

Description：Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction

描述：高分辨率 X 射線衍射校準標準

Unit of Issue（產(chǎn)品規(guī)格）：1 block

該標準參考材料 （SRM） 為高分辨率 X 射線衍射 （HRXRD） 社區(qū)提供了國際單位制 （SI） [1] 可追溯的 Si （220） 透射 d 間距、表面到晶體平面晶圓誤切和表面到 Si （004） 反射中的布拉格角作為我們的參考波長。SRM 2000 的一個單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 （100） 取向的單晶 Si 試樣組成，標稱 Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm Si 帽。這些認證值可用于校準HRXRD儀器。

SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射校準標準

儲存和處理：外延層可能會損壞或晶圓受到機械拉傷;因此，應(yīng)避免與SRM的前表面接觸。要去除表面污染，請使用過濾后的氮氣。

峰分布：測得的衍射峰明顯不對稱。支持性測量表明，這種不對稱性可能并不完quan是由于儀器效應(yīng)造成的，而是部分由于 SRM 2000 原料的特性。因此，使用分離式 Pearson VII 輪廓來擬合和估計峰位置，并推薦用于確定峰位置以進行校準。由于不對稱性對輪廓位置確定的影響不同，使用另一個輪廓函數(shù)可能會導(dǎo)致系統(tǒng)性偏差。

部分NIST標準物質(zhì)產(chǎn)品目錄（僅列舉小部分）：